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科學家開發一種全新型光學系統,可對産品進行微米級3D檢測測量
發布者:東莞市嘉騰儀器儀表有限公司 日期:2021年12月16日

據報道,維也納技術大學(TU Wien)的研究人員開發了一種輕型光學系統,用于對表面進行微米級精度的三維(3D)檢測。該測量工具可以大大加強高科技産品的質量控制檢查,包括半導體芯片、太陽能電池闆和消費電子産品,如平闆電視。這項研究發表在《應用光學》(Applied Optics )雜志上。

 

研究人員将共焦傳感器與一個高度集成的快速轉向鏡相結合,測量直徑僅為32毫米。他們還開發了一種重建過程,利用測量數據創建樣品表面形貌的3D圖像。3D測量系統非常緊湊,可以安裝在計量平台上,作為與機械臂的連接,并通過主動反饋控制補償樣品和測量系統之間的振動。

 


“這個系統最終會給高科技制造業帶來各種好處,”Wertjanz說。“在線測量可以實現零故障生産過程,這對小批量制造特别有用。這些信息還可以用于優化制造工藝和機床設置,從而提高整體産量。”

 

研究人員目前正緻力于在計量平台上落地應用該系統,并将其與機械臂結合。這将使他們能夠測試基于機器人的精密三維測量的可行性,在容易振動的環境中,如工業生産線上的自由曲面。www.cnjaten.cn



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