據報道，維也納技術大學（TU Wien）的研究人員開發了一種輕型光學系統，用于對表面進行微米級精度的三維（3D）檢測。該測量工具可以大大加強高科技産品的質量控制檢查，包括半導體芯片、太陽能電池闆和消費電子産品，如平闆電視。這項研究發表在《應用光學》（Applied Optics ）雜志上。

研究人員将共焦傳感器與一個高度集成的快速轉向鏡相結合，測量直徑僅為32毫米。他們還開發了一種重建過程，利用測量數據創建樣品表面形貌的3D圖像。3D測量系統非常緊湊，可以安裝在計量平台上，作為與機械臂的連接，并通過主動反饋控制補償樣品和測量系統之間的振動。

“這個系統最終會給高科技制造業帶來各種好處，”Wertjanz說。“在線測量可以實現零故障生産過程，這對小批量制造特别有用。這些信息還可以用于優化制造工藝和機床設置，從而提高整體産量。”

研究人員目前正緻力于在計量平台上落地應用該系統，并将其與機械臂結合。這将使他們能夠測試基于機器人的精密三維測量的可行性，在容易振動的環境中，如工業生産線上的自由曲面。www.cnjaten.cn

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